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光氧净化设备依靠高强紫外线，其中154nm-185nm波长在系列光谱中使占比例高达14%，紫外线剂量大于65mw/cm2，光子能量大于1000kJ/mol，是当前工业UV/O3紫外灯中剂量和能量的紫外线，迅速氧化键能小于380kJ/mol的污染物，无极灯紫外线光解氧气产生臭氧，臭氧浓度15g-75g/h，臭氧能快速氧化金属性较强的污染物，臭氧量可根据污染物的浓度以及后续反应时间设定。
废气的光解催化氧化机理包括两个过程：一是在产生高能离子群体的过程中，一定数量的有害气体分子受高能作用，本身分解成单质或转化为无害物质。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的离子群体，与大分子气体(如苯、甲苯等)作用，打开了其分子内部的化学键，转化为无害的小分子物质。新生态的氧离子具有很强的氧化性，它能有效的氧化分解不受负离子作用控制的有机物。和废气反应后多余的氧离子(正)，能与氧离子(负)很快结合成中性氧，因而不会更多地对设备及环境造成不利影响。
光氧净化技术性能
低温深度反应：
光催化氧化可在常温下将空气、水和土壤中有机污染物完全氧化成无毒无害的物质。而传统的高温焚烧技术则需要在极高的温度下才可将污染物摧毁，即使用常规的催化氧化方法亦需要几的高温。
净化彻底：
它直接将空气中的有机污染物，完全氧化成无毒无害的物质，不何二次污染，目前广泛采用的活性炭吸附法不分解污染物，只是将污染源转移。
绿色能源：
光催化可利用太阳光作为能源来活化光催化剂，驱动氧化—还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗。从能源角度而言，这一特征使光催化技术更具魅力。
氧化性强：
大量研究表明，半导体光催化具有氧化性强的特点，对臭氧难以氧化的某些有机物如四氯化炭、六氯苯、都能有效地加以分解，所以对难以降解的有机物具有特别意义，光催化的有效氧化剂是羟基自由基(HO)，HO的氧化性高于常见的臭氧、双氧水、次氯酸等。
广谱性：
光催化对从烃到羧酸的种类众多有机物都有效，美国环保署公布的九大类114种污染物均被证实可通过光催化得到治理，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有极佳的去除效果，一般经过持续反应可达到完全净化。