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博曼(Bowman)膜厚测试仪 波长: 250-1100nm
厚度范围: 10nm--250m
分辨率: 0,1nm
重复性: 0,3nm
准确率: <1[%] (100nm--100m)
测试时间: 100ms -- <1s
分析层数: 1-- 4
离光纤距离: 1-5mm
离镜头距离: 5mm-- 100mm
入射角度: 90°
光斑点大小: 400m
微光斑手段: 与显微镜联用,1-- 20m with Microscope 10x/20x/50x Magnification and MFA-Adapter;
光纤长度: 2m (other lengthes on request)
接口: USB 1.1 (RS-232)
电源需求: 12 VDC@1,2A, 220 VAC 50/60 Hz
尺寸: 180mm x 152 mm x 263mm
总量: 3.5 kg>膜厚仪的使用场合 膜厚仪主要应用于晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...); 晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...); DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层;SOI硅片; MEMs 厚层薄膜(100m up to 250m); DVD/CD 涂层; 光学镜头涂层; SOI硅片; 金属箔; 晶片与Mask间气层; 减薄的晶片(< 120m); 瓶子或注射器等带弧度的涂层; 薄膜工业的在线过程控制等等许多场合。 如有需要的用户请联系； 公司名称：深圳市金东霖科技有限公司
地址； 深圳沙井北环大道110号新综合大楼502
联系人： 曹鹏 联系方式；13603036715
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